QR系列區(qū)熔單晶硅爐

QR系列區(qū)熔爐是我公司自主開發(fā)的專用于拉制區(qū)熔單晶硅棒的設備，是- -種綜合了機械、電力、電子、真空等多個專業(yè)的具有高技術含量的自動化設備。我公司已申請并授權了二項發(fā)明專利，十二
項實用新型專利。該設備能夠完全替代進口區(qū)熔爐設備。
QR系列區(qū)熔爐的操作自動化程度高、檢測功能完善、保護功能齊全，參數(shù)調整靈活簡便，能最大限度的滿足各種拉晶工藝的調整。
QR系列區(qū)熔爐能夠拉制單晶直徑為2英寸~8英寸，最大拉單晶長度為1000mm^ 2200mm (等徑部分)，并可進行本征、氣摻區(qū)熔單晶的拉制。